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Medientyp: Buch; Bibliografie Titel: Intrinsic point defects, impurities, and their diffusion in silicon Beteiligte: Pichler, Peter [VerfasserIn] Erschienen: Wien; New York: Springer, 2004 Erschienen in: Computational microelectronics Umfang: XXI, 554 S; graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 3211206876 Verlags-, Produktions- oder Bestellnummern: Sonstige Nummer: 10975954 RVK-Notation: ZN 3460 : Halbleiterwerkstoffe Schlagwörter: Diffusion > Silicium > Verunreinigung > Störstelle Silicium > Gitterbaufehler > Diffusion Entstehung: Anmerkungen: Literaturangaben