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Medientyp: Buch Titel: Nano- and micro-electromechanical systems : fundamentals of nano- and microengineering Enthält: Literaturangaben Beteiligte: Lyshevski, Sergey Edward [VerfasserIn] Erschienen: Boca Raton, Fla. [u.a.]: CRC Press, 2005 Erschienen in: Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series ; 8 Ausgabe: 2. ed. Umfang: 722 S.; Ill., zahlr. graph. Darst; 26 cm Sprache: Englisch ISBN: 0849328381 RVK-Notation: ZN 3700 : Mikromechanik (hier auch Nanotechnologie) ZN 3750 : Mikrosystemtechnik Schlagwörter: MEMS > Nanotechnologie > Mikrosystemtechnik Entstehung: Anmerkungen: Includes bibliographical references and index Weitere Bestandsnachweise 0 : Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series
Bereichsbibliothek DrePunct – Freihand Signatur: ZN 3750 L993(2) Barcode: 31331354 Status: Ausleihbar