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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Transparent conductive ZnO:Al thin films prepared by in-line reactive mid-frequency magnetron sputtering Beteiligte: Hong, Ruijiang [VerfasserIn] Erschienen: Stuttgart: Fraunhofer-IRB-Verl., 2004 Erschienen in: Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik: Berichte aus Forschung und Entwicklung ; 21 Umfang: 145 S; Ill., graph. Darst; 21 cm Sprache: Englisch ISBN: 3816766250 RVK-Notation: ZM 7600 : Oberflächentechnik allgemein Schlagwörter: Transparent-leitendes Oxid > Zinkoxid > Dotierung > Aluminium > Magnetronsputtern > Schichtwachstum Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2004 Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Berichte aus Forschung und Entwicklung