Smart sensors and MEMS: proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Smart Sensors and MEMS, … - SLUB Dresden

Medientyp: Buch; Konferenzbericht
Titel: Smart sensors and MEMS : [proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Smart Sensors and MEMS, Povoa de Varzim, Portugal, 8 - 19 September 2003
Beteiligte: Yurish, Sergey Y. [Herausgeber:in]
Veranstaltung: Advanced Study Institute on Smart Sensors and MEMS
Erschienen: Dordrecht [u.a.]: Kluwer Academic Publ., 2004
Erschienen in: NATO: NATO science series / 2 ; 18100
Umfang: XV, 480 S; Ill., graph. Darst
Sprache: Englisch
ISBN: 1402029276; 1402029292; 1402029284
RVK-Notation: ZN 3700 : Mikromechanik (hier auch Nanotechnologie)
Schlagwörter: Intelligenter Sensor
Póvoa de Varzim <2004> > MEMS
MEMS
Abtastsystem
Entstehung:
Anmerkungen:
Weitere Bestandsnachweise
0 : NATO science series / 2

Smart sensors and MEMS