> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: Buch Titel: Micro-nanofabrication : technologies and applications Beteiligte: Cui, Zheng [VerfasserIn] Erschienen: Beijing [u.a.]: Springer [u.a.], 2005 [Berlin, u.a.]: Springer, 2005 Umfang: X, 304 S; Ill., graph. Darst; 235 mm x 155 mm Sprache: Englisch ISBN: 9783540289227; 9787040176636; 3540289224; 7040176637 Verlags-, Produktions- oder Bestellnummern: Sonstige Nummer: 11546153 RVK-Notation: ZN 3700 : Mikromechanik (hier auch Nanotechnologie) ZN 3750 : Mikrosystemtechnik Schlagwörter: Mikrosystemtechnik > Nanotechnologie Fotolithografie > Elektronenstrahllithografie > Ionenstrahllithografie > Ätzen > MEMS > Nanostrukturiertes Material Entstehung: Anmerkungen: Literaturangaben
Bereichsbibliothek DrePunct – Magazin Signatur: R2024 8 1153 Barcode: 31663607 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden Bereitstellung voraussichtlich: 1 - 2 Tage nach Bestellung