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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Elektrische Charakterisierung ferroelektrischer Nanostrukturen in Hinblick auf die Verwendung in nicht-flüchtigen Speicherbausteinen Beteiligte: Tiedke, Stephan [VerfasserIn] Erschienen: Aachen: Shaker, 2005 Erschienen in: Berichte aus der Elektrotechnik Umfang: 105 S.; Ill., graph. Darst; 21 cm Sprache: Deutsch ISBN: 3832245626 RVK-Notation: ZN 3700 : Mikromechanik (hier auch Nanotechnologie) Schlagwörter: FRAM > Wafer > Elektrokeramik > Nanostruktur > Elektrische Eigenschaft > Testen Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2005 Anmerkungen: