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Medientyp: Buch Titel: CMOS hotplate chemical microsensors : with 12 tables Beteiligte: Graf, Markus [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Erschienen: Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2007 Erschienen in: Microtechnology and MEMS Umfang: XII, 125 S.; Ill., graph. Darst; 24 cm Sprache: Englisch ISBN: 3540695613; 9783540695615 Verlags-, Produktions- oder Bestellnummern: Sonstige Nummer: 11316732 RVK-Notation: VG 6830 : Allgemeines ZQ 3750 : Wägung, Dichtemessung, Viskosimetrie Schlagwörter: Kochplatte > Integrierter Sensor > Mikrosensor > Metalloxid-Gassensor > CMOS > Mikrosystemtechnik Chemischer Sensor Entstehung: Anmerkungen: Literaturverz. S. 113 - 121