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Medientyp: Buch Titel: Reliability of MEMS : [testing of materials and devices] Beteiligte: Tabata, Osamu [Hrsg.]; Tsuchiya, Toshiyuki [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Erschienen: Weinheim: Wiley-VCH, 2008 Erschienen in: Advanced micro & nanosystems ; 6 Umfang: XX, 303 S.; Ill., graph. Darst; 25 cm Sprache: Englisch ISBN: 9783527314942 Verlags-, Produktions- oder Bestellnummern: Sonstige Nummer: 1131494 000 RVK-Notation: ZN 3700 : Mikromechanik (hier auch Nanotechnologie) ZN 3750 : Mikrosystemtechnik Schlagwörter: MEMS > Zuverlässigkeit Mikrosystemtechnik Entstehung: Anmerkungen: Literaturangaben Weitere Bestandsnachweise 0 : Advanced micro & nanosystems