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Medientyp: Artikel Titel: Lithographiesystem LION-LV1 Beteiligte: Plontke, Rainer [VerfasserIn] Erschienen: 2006 Erschienen in: Jenaer Jahrbuch zur Technik- und Industriegeschichte ; 9(2006), Seite 535-566 Sprache: Deutsch ISSN: 2198-6746 RVK-Notation: ZN 3134 : Geschichte der Elektronik und Mikroelektronik Schlagwörter: Jenoptik Carl Zeiss Jena GmbH > Präzisionsinstrument > Elektronisches Bauelement Entstehung: Anmerkungen: Literaturangaben