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Medientyp: Buch Titel: LIGA and its applications Beteiligte: Saile, Volker [Herausgeber:in] Erschienen: Weinheim: Wiley-VCH-Verl., 2009 Erschienen in: Advanced micro & nanosystems ; 7 Ausgabe: 1. Aufl. Umfang: X, 479 S.; Ill., graph. Darst; 240 mm x 170 mm Sprache: Englisch ISBN: 3527316981; 9783527316984 Verlags-, Produktions- oder Bestellnummern: Sonstige Nummer: 1131698 000 RVK-Notation: ZN 3700 : Mikromechanik (hier auch Nanotechnologie) ZN 3750 : Mikrosystemtechnik Schlagwörter: LIGA-Verfahren LIGA-Verfahren Entstehung: Anmerkungen: Literaturangaben Weitere Bestandsnachweise 0 : Advanced micro & nanosystems