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Medientyp: Buch Titel: Plasma nanoscience : basic concepts and applications of deterministic nanofabrication Beteiligte: Ostrikov, Kostya [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Erschienen: Weinheim: Wiley-VCH, 2008 Umfang: XXV, 538 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 9783527407408; 3527407405 RVK-Notation: ZN 3700 : Mikromechanik (hier auch Nanotechnologie) VE 9850 : Allgemeines UR 8000 : Plasmaphysik allgemein Schlagwörter: Nanotechnologie > Kaltes Plasma > Plasmatechnik Entstehung: Anmerkungen: Literaturverz. S. 499 - 527