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Medientyp: Buch Titel: Fabrication and design of resonant microdevices Beteiligte: Bahreyni, Behraad [Verfasser:in] Erschienen: Norwich, NY: William Andrew, 2008 Erschienen in: Micro & nano technologies ; 3 Umfang: XIII, 181 S.; Ill., graph. Darst; 27 cm Sprache: Englisch ISBN: 9780815515777; 0815515774 RVK-Notation: ZN 3750 : Mikrosystemtechnik Schlagwörter: MEMS > Mikromechanik > Mikrofertigung Entstehung: Anmerkungen: Includes bibliographical references and index Weitere Bestandsnachweise 0 : Micro & nano technologies