• Medientyp: Buch; Hochschulschrift
  • Titel: Atmosphärendruck-Plasma-Beschichtungsreaktoren
  • Beteiligte: Mäder, Gerrit [VerfasserIn]
  • Erschienen: Stuttgart: Fraunhofer-IRB-Verl., 2008
  • Umfang: 146 S.; Ill., graph. Darst
  • Sprache: Deutsch
  • ISBN: 9783816776567
  • Schlagwörter: PECVD-Verfahren > Luftdruck > Chemischer Reaktor > Geräteentwicklung
    Beschichtung > Plasma > CVD-Verfahren
  • Entstehung:
  • Hochschulschrift: Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Fak. Maschinenwesen, Diss., 2008
  • Anmerkungen:

Exemplare

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