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Hellriegel, Ronald [Verfasser:in]

Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen

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  • Medientyp: Buch; Hochschulschrift
  • Titel: Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen : Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle
  • Weitere Titel: Übers. des Hauptsacht.: Dry etch of Titanium Nitride TiN with halogenides in remote plasma source for chamber clean applications
  • Beteiligte: Hellriegel, Ronald [Verfasser:in]
  • Erschienen: Norderstedt: Books on Demand, 2009
  • Umfang: VI, 123 S; Ill., graph. Darst; 210 mm x 148 mm, 206 gr
  • Sprache: Deutsch
  • ISBN: 9783839106938
  • RVK-Notation: ZN 4172 : Ätzen
  • Schlagwörter: Aufdampfen > Titannitrid > Vakuumkammer > Ablagerung > Reinigung > Plasmaätzen
  • Entstehung:
  • Hochschulschrift: Dresden, Techn. Univ., Fak. Elektrotechn. und Informationstechn., Diss., 2009
  • Anmerkungen:

Exemplare

(0)

Bereichsbibliothek DrePunct – Freihand

  • Status: Ausleihbar

Zentralbibliothek – Magazin

  • Signatur: 2009 8 055965
  • Barcode: 31475534
  • Status: Ausleihbar, bitte bestellen
Bestellungen, die von Mo - Fr bis 13 Uhr eingehen, werden voraussichtlich am selben Tag für Sie bereitgestellt.

Bereichsbibliothek DrePunct – Magazin

  • Signatur: 2009 8 056910
  • Barcode: 31475557
  • Status: Bestellen zur Benutzung im Haus, kein Versand per Fernleihe, nur Kopienlieferung
Bereitstellung voraussichtlich: 1 - 2 Tage nach Bestellung