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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Ein MEMS Vakuumsensor nach dem Reibungsprinzip Beteiligte: Tenholte, Dirk [Verfasser:in] Erschienen: Chemnitz: Universitätsverlag Chemnitz, 2009 Umfang: 186 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Deutsch ISBN: 9783941003040 RVK-Notation: ZN 3750 : Mikrosystemtechnik ZQ 3750 : Wägung, Dichtemessung, Viskosimetrie Schlagwörter: Vakuumsensor > MEMS > Geräteentwicklung Sensor > Vakuummessung > MEMS Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2009 Anmerkungen:
Zentralbibliothek – Magazin Signatur: 2010 8 020392 Barcode: 32978097 Status: Bestellen zur Benutzung im Haus, kein Versand per Fernleihe, nur Kopienlieferung > Bestellen möglich - bitte anmelden Bestellungen, die von Mo - Fr bis 13 Uhr eingehen, werden voraussichtlich am selben Tag für Sie bereitgestellt.