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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Untersuchungen zum Reaktionsverhalten kristalliner Siliziumoberflächen in HF-basierten Ätzlösungen Beteiligte: Patzig-Klein, Sebastian [Verfasser:in] Erschienen: 2009 Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: Schlagwörter: Silicium > Oberfläche > Elektrochemisches Abtragen > Flusssäure > Salpetersäure > Nitrosylkation Entstehung: Hochschulschrift: Freiberg, TU Bergakademie, Diss., 2009 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang