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Medientyp: Buch Titel: Precision nanometrology : sensors and measuring systems for nanomanufacturing Beteiligte: Gao, Wei [Verfasser:in] Erschienen: London [u.a.]: Springer, 2010 Erschienen in: Springer series in advanced manufacturing Umfang: XIII, 354 S.; Ill., graph. Darst; 235 mm x 155 mm Sprache: Englisch ISBN: 9781849962537; 1849962537 Verlags-, Produktions- oder Bestellnummern: Sonstige Nummer: 12022274 RVK-Notation: ZQ 3100 : Allgemeines, Theorie, Messverfahren Schlagwörter: Nanometerbereich > Präzisionsmessung Entstehung: Anmerkungen: Formerly CIP Uk. - Includes bibliographical references and index