Junghähnel, Manuela
[VerfasserIn]
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Rädlein, Edda
[Sonstige Person, Familie und Körperschaft];
Schaaf, Peter
[Sonstige Person, Familie und Körperschaft];
Strümpfel, Johannes
[Sonstige Person, Familie und Körperschaft]Universitätsverlag Ilmenau
Herstellung und Chakterisierung von transparenten, elektrisch leitfähigen TiO 2 :Nb-Dünnschichten durch Gleichstrom- und Puls-Magnetron-Sputtern
- [Online-Ausg.]
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Medientyp:
E-Book;
Hochschulschrift
Titel:
Herstellung und Chakterisierung von transparenten, elektrisch leitfähigen TiO 2 :Nb-Dünnschichten durch Gleichstrom- und Puls-Magnetron-Sputtern
Anmerkungen:
Parallel als Druckausg. erschienen
Systemvoraussetzungen: Acrobat reader
Beschreibung:
Die vorliegende Dissertation befasst sich mit der Abscheidung von neuartigen transparenten leitfähigen Niob-dotierten Titanoxidschichten TiO2:Nb auf großen Flächen durch Magnetron-Sputtern. Schwerpunkt der Arbeit war die Untersuchung der optischen und elektrischen Eigenschaften von TiO2:Nb sowie der Struktur in Abhängigkeit von den Bedingungen bei der Schichtabscheidung und einer anschließenden thermischen Behandlung. Durch Gleichstrom- und Puls-Magnetron-Sputtern von oxidischen Targets und einer anschließenden thermischen Behandlung bei 450°C im Hochvakuum wurden auf eine Fläche von (300 x 300) mm 2 transparente leitfähige TiO2:Nb -Schichten mit einem spezifischen elektrischen Widerstand im Bereich (7 ... 9) x 10-4 Ohm*cm und einem Extinktionskoeffizienten bei 550 nm von 0,02 abgeschieden. Die Eigenschaften der Schichten sind stark abhängig von ihrem Gefüge. TiO2:Nb in der Anatas-Modifikation zeigt gute elektrische Leitfähigkeit. Freie Ladungsträger werden durch fünfwertige Nb-Ionen erzeugt, die sich auf einem regulären Ti-Gitterplatz befinden. Die Ladungsträgerkonzentration steigt mit steigender Zahl der substituierten Ionen. Die Korngrenzen bestimmen und begrenzen die Beweglichkeit der Ladungsträger. Transparentes leitfähiges TiO2:Nb zeichnet sich durch einen hohen Brechungsindex von ca. 2,5 bei 550 nm aus und ist besonders chemisch beständig. Die Beschichtungen und ein Großteil der Untersuchungen wurden am Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik Dresden im Rahmen des Projektes "Plaspro" durchgeführt, welches von der Europäischen Union und dem Freistaat Sachsen gefördert wurde (Fördernummer 12896/2155).