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Medientyp: Buch Titel: Bio and nano packaging techniques for electron devices : advances in electronic device packaging Beteiligte: Gerlach, Gerald [Herausgeber:in]; Wolter, Klaus-Jürgen [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Erschienen: Berlin; Heidelberg: Springer, 2012 Umfang: XII, 628 S.; Ill., graph. Darst; 243 mm x 162 mm Sprache: Englisch ISBN: 3642442862; 9783642442865; 364228521X; 9783642285219 Verlags-, Produktions- oder Bestellnummern: Sonstige Nummer: 12716456 RVK-Notation: ZN 4192 : Technologie diskreter Bauelemente (Bonden; Gehäuse); Packaging ZN 3700 : Mikromechanik (hier auch Nanotechnologie) Schlagwörter: Halbleitergehäuse > Verbindungstechnik > Dreidimensionale Integration > Nanolithografie > Nanobiotechnologie > Nanoelektromechanik Entstehung: Anmerkungen: Literaturangaben Hier auch später erschienene, unveränderte Nachdrucke