• Medientyp: Buch; Hochschulschrift
  • Titel: Untersuchungen zur Feuchtigkeitsaufnahme von Niedrig-Epsilon-Materialien für die Anwendung als Zwischenebenendielektrika in Mikrochips
  • Beteiligte: Kubasch, Christoph [VerfasserIn]
  • Erschienen: Berlin: Pro Business, 2013
  • Ausgabe: 1. Aufl.
  • Umfang: X, 133 S.; Ill., graph. Darst; 21 cm, 246 g
  • Sprache: Deutsch
  • ISBN: 9783863869687
  • Verlags-, Produktions- oder Bestellnummern: Sonstige Nummer: 14101
  • RVK-Notation: ZN 3490 : Dielektrika
  • Schlagwörter: Chip > VLSI > Leiterbahn > Low-k-Dielektrikum > Wasseraufnahme
  • Entstehung:
  • Hochschulschrift: Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Fak. Elektrotechnik und Informationstechnik, Diss., 2013
  • Anmerkungen:

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