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Medientyp: E-Book Titel: Handbook of 3D Integration : 3D process technology Beteiligte: Garrou, Philip E. [HerausgeberIn]; Koyanagi, Mitsumasa [HerausgeberIn]; Ramm, Peter [HerausgeberIn] Erschienen: Weinheim, Germany: Wiley-VCH, 2014 Online-Ausg. Umfang: Online Ressource Sprache: Englisch DOI: 10.1002/9783527670109 ISBN: 9783527670109; 3527670106 Identifikator: Schlagwörter: Integrierte Schaltung > Dreidimensionale Integration Art der Reproduktion: Online-Ausg. Entstehung: Anmerkungen: Includes bibliographical references and index. - Online resource; title from PDF title page (John Wiley, viewed Aug. 13, 2014) Beschreibung: Includes bibliographical references and index