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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Ortsaufgelöste Messung der Gitterverspannungen in Halbleitern mittels Dunkelfeld off-axis Elektronenholographie Beteiligte: Sickmann, Jan [VerfasserIn] Erschienen: 2014 Online-Ausg.: 2015 Sprache: Deutsch Identifikator: RVK-Notation: UH 6300 : Transmissionselektronenmikroskopie insgesamt, Allgemeines Schlagwörter: Transistor > Halbleiter > Kristallgitter > Verzerrung > Mechanische Spannung > Dunkelfeldmikroskopie > Elektronenholografie Art der Reproduktion: Online-Ausg. Reproduktionsnotiz: Online-Ausg. 2015. Online-Ressource Entstehung: Hochschulschrift: Dresden, Techn. Univ., Fak. Mathematik und Naturwiss., Diss., 2014 Anmerkungen: Information zum Bestand: Elektronischer Volltext - Zugang über WWW Zugangsstatus: Freier Zugang Rechte-/Nutzungshinweise: Urheberrechtsschutz