Erarbeitung einer Fertigungstechnologie und Charakterisierungsmethodik für die Herstellung hochsensitiver Vibrationssensoren unter Nutzung des Mikroschweißprozesses
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Medientyp:
Buch;
Hochschulschrift
Titel:
Erarbeitung einer Fertigungstechnologie und Charakterisierungsmethodik für die Herstellung hochsensitiver Vibrationssensoren unter Nutzung des Mikroschweißprozesses
Weitere Titel:
Abweichender Titel: Hochsensitiver Vibrationssensor auf Basis des Mikroschweißprozesses von Silizium