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Esser, G. [VerfasserIn]; Goetz, Martin [VerfasserIn]; Neuhaus, Manfred [VerfasserIn]; Scherer, Theo [VerfasserIn]; Jutzi, Wilhelm [VerfasserIn]

Planarisierung miniaturisierter Nb-Schaltungen durch chemisch-mechanisches Polieren (CMP)

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  • Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht; Sonstige Veröffentlichung; E-Artikel
  • Titel: Planarisierung miniaturisierter Nb-Schaltungen durch chemisch-mechanisches Polieren (CMP)
  • Beteiligte: Esser, G. [VerfasserIn]; Goetz, Martin [VerfasserIn]; Neuhaus, Manfred [VerfasserIn]; Scherer, Theo [VerfasserIn]; Jutzi, Wilhelm [VerfasserIn]
  • Erschienen: KITopen (Karlsruhe Institute of Technologie), 2008-01-16
  • Sprache: Deutsch
  • Schlagwörter: DATA processing & computer science
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: Diese Datenquelle enthält auch Bestandsnachweise, die nicht zu einem Volltext führen.