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Medientyp: E-Artikel; E-Artikel; Sonstige Veröffentlichung Titel: Resistance modelling of test structures for accurate fault detection in backend process steps using a digital tester Beteiligte: Hess, Christopher [VerfasserIn]; Weiland, Larg H. [VerfasserIn] Erschienen: KITopen (Karlsruhe Institute of Technologie), 2008-01-16 Sprache: Englisch Schlagwörter: DATA processing & computer science Entstehung: Anmerkungen: Diese Datenquelle enthält auch Bestandsnachweise, die nicht zu einem Volltext führen.