Atomic layer deposition of aluminum oxide on crystalline silicon : fundamental interface properties and application to solar cells

Medientyp: Sonstige Veröffentlichung; Dissertation; Elektronische Hochschulschrift; E-Book

Titel: Atomic layer deposition of aluminum oxide on crystalline silicon : fundamental interface properties and application to solar cells

Beteiligte: Werner, Florian [Verfasser:in]

Erschienen: Hannover : Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, 2014

Ausgabe: published Version

Sprache: Englisch

DOI: https://doi.org/10.15488/8387

Schlagwörter: Aluminiumoxid ; inversion layer ; Inversionsschicht ; Aluminum oxide ; surface passivation ; Oberflächenpassivierung

Entstehung:

Anmerkungen: Diese Datenquelle enthält auch Bestandsnachweise, die nicht zu einem Volltext führen.

Beschreibung: [no abstract]

Zugangsstatus: Freier Zugang

Atomic layer deposition of aluminum oxide on crystalline silicon : fundamental interface properties and application to solar cells - [published Version]