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Fahrbach, M. [VerfasserIn]; Friedrich, Sebastian [VerfasserIn]; Behle, H. [VerfasserIn]; Xu, Min [VerfasserIn]; Cappella, Brunero [VerfasserIn]; Brand, U. [VerfasserIn]; Peiner, E. [VerfasserIn]

Customized piezoresistive microprobes for combined imaging of topography and mechanical properties

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  • Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Customized piezoresistive microprobes for combined imaging of topography and mechanical properties
  • Beteiligte: Fahrbach, M. [VerfasserIn]; Friedrich, Sebastian [VerfasserIn]; Behle, H. [VerfasserIn]; Xu, Min [VerfasserIn]; Cappella, Brunero [VerfasserIn]; Brand, U. [VerfasserIn]; Peiner, E. [VerfasserIn]
  • Erschienen: BAM-Publica - Publikationsserver der Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM), 2021
  • Sprache: Englisch
  • DOI: https://doi.org/10.1016/j.measen.2021.100042
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: Diese Datenquelle enthält auch Bestandsnachweise, die nicht zu einem Volltext führen.
  • Beschreibung: Customized piezoresistive cantilever microprobes with a deflection range of 120 μm and silicon tips of 100 μm height were operated in a Cypher AFM showing their functionality for measuring topography together with stiffness, adhesion, and viscoelastic properties of thin films.
  • Zugangsstatus: Freier Zugang