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Medientyp: E-Book; Dissertation; Elektronische Hochschulschrift; Sonstige Veröffentlichung Titel: Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik Beteiligte: Sasse, Philipp Wilhelm [VerfasserIn] Erschienen: noah.nrw, 2002 Sprache: Deutsch Schlagwörter: Oberflächenmontage ; Rotationssensor ; Entwurf ; Siliciumbauelement ; Mikromechanik ; CMOS Entstehung: Anmerkungen: Diese Datenquelle enthält auch Bestandsnachweise, die nicht zu einem Volltext führen. Beschreibung: von Philipp Wilhelm Sasse ; Paderborn, Univ., Diss., 2002 Zugangsstatus: Freier Zugang