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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: CMOS-Back-End-of-Line-Prozesse für optische Bauelemente Weitere Titel: CMOS back end of line processes for optical devices Beteiligte: Hochschulz, Frank [Verfasser]; Vogt, Holger [Akademischer Betreuer]; Tegude, Franz-Josef [Akademischer Betreuer] Erschienen: Duisburg; Essen: Universitätsbibliothek Duisburg-Essen, 2013 Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: Schlagwörter: Electrical ; CMOS ; BEOL ; Photodetektoren ; Photodioden ; Interferenz ; Back-End-of-Line ; etaloning ; UV ; EUV ; XUV ; Empfindlichkeitsschwankung ; QE-Schwankung ; photodetector ; photodiode ; interference ; Hochschulschrift Entstehung: Hochschulschrift: Duisburg, Essen, Universität Duisburg-Essen, Diss., 2012 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang