• Medientyp: E-Book; Hochschulschrift
  • Titel: Ultra thin oxide films for dielectric and resistive memory applications
  • Beteiligte: Schmelzer, Sebastian [Verfasser]
  • Erschienen: Aachen: Hochschulbibliothek der Rheinisch-Westfälischen Technischen Hochschule Aachen, 2013
  • Umfang: Online-Ressource
  • Sprache: Englisch
  • Identifikator:
  • Schlagwörter: High-k-Dielektrikum , Schichtkondensator , Dynamisches RAM , Dünnschichttechnik ; Hochschulschrift
  • Entstehung:
  • Hochschulschrift: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2013
  • Anmerkungen:
  • Zugangsstatus: Freier Zugang