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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Optical scanning sensor system with submicron resolution Beteiligte: Selva Ginani, Luciano [Verfasser]; Theska, René [Akademischer Betreuer]; Manske, Eberhard [Akademischer Betreuer]; Lepikson, Hermann [Akademischer Betreuer] Erschienen: Ilmenau: Universitätsbibliothek Ilmenau, 2013 Erschienen in: Berichte aus dem Institut für Maschinen- und Gerätekonstruktion (IMGK) ; 24 Umfang: Online-Ressource Sprache: Englisch Identifikator: RVK-Notation: UH 6700 : Instrumentelle Optik und Physik optischer Instrumente insgesamt, Allgemeines Schlagwörter: Laser-Rastermikroskop > Autofokussystem > Optischer Sensor Entstehung: Hochschulschrift: Ilmenau, Univ., Diss., 2013 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang