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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Lithografisch hergestellte, polymerbasierte elektrostatische Aktuatoren ohne Pull-In-Effekt Beteiligte: Lange, Nicolas [Verfasser]; Tünnermann, Andreas [Akademischer Betreuer]; Hoffmann, Martin [Akademischer Betreuer] Erschienen: Jena: Thüringer Universitäts- und Landesbibliothek Jena, 2015 Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: Schlagwörter: Institute of Electrical and Electronics Engineers ; Photoresist ; MEMS ; Fertigung ; Aktor ; Elektrostatik ; Mikrosystemtechnik ; Fotolithografie ; Miniaturisierung ; Elektrode ; Halbleiterelektronik ; Messschraube ; Aktor / Polymere / Mikrosystemtechnik ; Hochschulschrift Entstehung: Hochschulschrift: Jena, Friedrich-Schiller-Universität Jena, Diss., 2015 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang