> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Das Diffusions- und Aktivierungsverhalten von Arsen und Phosphor in Germanium Beteiligte: Wündisch, Clemens [Verfasser]; Helm, Manfred [Akademischer Betreuer]; Bracht, Hartmut [Akademischer Betreuer] Erschienen: Dresden: Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden; Dresden: Technische Universität Dresden, 2016 Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: RVK-Notation: VH 8068 : Ge Germanium Schlagwörter: Diffusion ; Phosphor ; Germanium ; Aktivierung ; Ausheilung ; Ionenimplantation ; Dotierung ; Festphasenepitaxie ; Doping ; Annealing ; Solid Phase Epitaxy ; Hochschulschrift Entstehung: Hochschulschrift: Dresden, Technische Universität Dresden, Diss., 2015 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang