Back, Franziska
[Verfasser:in]
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Löbmann, Peer
[Sonstige Person, Familie und Körperschaft];
Tacke, Reinhold
[Sonstige Person, Familie und Körperschaft]
Herstellung SiO2-basierter nano- und mikroskaliger Strukturen via UV-Nanoimprintlithographie auf Basis hybridpolymerer Sol-Gel-Materialien