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Medientyp:
E-Book;
Hochschulschrift
Titel:
Role of substrates morphology and chemistry in ALD HfO₂ on Si(111)-H terminated surfaces as model
Weitere Titel:
Rolle der Substratmorphologie und –chemie bei der Atomlagenabscheidung HfO₂ auf einer Si(111)-H terminierten Oberfläche als Modellsystem