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Medientyp: E-Book Titel: Interference lithography with extreme ultraviolet light Weitere Titel: Interferenzlithographie mit extrem ultravioletter Strahlung Beteiligte: Kim, Hyun-Su [Verfasser]; Juschkin, Larissa [Akademischer Betreuer]; Taubner, Thomas Günter [Akademischer Betreuer] Erschienen: Aachen: Universitätsbibliothek der RWTH Aachen, 2016 Umfang: Online-Ressource Sprache: Englisch Identifikator: Entstehung: Hochschulschrift: Dissertation, RWTH Aachen University und University of Southampton, 2016 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang