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Medientyp: E-Book Titel: Mikrosäule mit „Variable Axis Lens” für große Scanfelder und Pixelanzahl Weitere Titel: Microcolumn with variable axis lens for large scan fields and pixel number Beteiligte: Weigand, Helmut [Verfasser:in]; Kern, Dieter P. [Akademische:r Betreuer:in] Erschienen: Tübingen: Universitätsbibliothek Tübingen, 2014 Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: Schlagwörter: Elektronenoptik ; MEMS ; Mikrosäulen ; Mikrostrukturfertigung ; Einzellinse ; VAL ; MOL ; microcolumn ; electron optics ; variable axis lens, moving objective lens ; einzel lens Entstehung: Hochschulschrift: Dissertation, Tübingen, Universität Tübingen, 2014 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang