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Medientyp: E-Book Titel: Laserinterferometrisches Rasterkraftmikroskop Beteiligte: Vorbringer-Dorozhovets, Nataliya [Verfasser]; Jäger, Gerd [Akademischer Betreuer]; Theska, René [Gutachter]; Osten, Wolfgang [Gutachter] Erschienen: Ilmenau: TU Ilmenau, 2019 Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: Schlagwörter: Rasterkraftmikroskopie ; Messung ; Nanometerbereich Entstehung: Hochschulschrift: Dissertation, Ilmenau, TU Ilmenau, 2019 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang