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Medientyp: E-Book Titel: Die Rolle des Sauerstoffanteils in Titandioxid bei Tantal-Dotierung zur Verwendung als transparentes leitfähiges Oxid Beteiligte: Neubert, Marcel [Verfasser]; Gemming, Sibylle [Akademischer Betreuer]; Gemming, Sibylle [Gutachter]; Vinnichenko, Mykola [Akademischer Betreuer]; Szyszka, Bernd [Gutachter] Erschienen: Chemnitz: Universitätsbibliothek Chemnitz, 2016 Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: Schlagwörter: Kristallisation ; Titandioxid ; Anatas ; Oxide ; Halbleiter ; Tantal ; Sputtern ; transparente leitfähige Oxide ; Magnetron Sputtern ; Ultra-Kurzzeittemperung ; elektrische Aktivierung ; titanium dioxide ; tantalum ; semiconductor ; transparent conductive oxide ; magnetron sputtering ; very-rapid annealing ; electrical activation ; crystallization Entstehung: Hochschulschrift: Dissertation, Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, 2016 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang