Zerstörungsfreie Eigenspannungsbestimmung für die Zuverlässigkeitsbewertung 3D-integrierter Kontaktstrukturen in Silizium

Medientyp: E-Book; Hochschulschrift

Titel: Zerstörungsfreie Eigenspannungsbestimmung für die Zuverlässigkeitsbewertung 3D-integrierter Kontaktstrukturen in Silizium

Beteiligte: Zschenderlein, Uwe [Verfasser:in]; Wunderle, Bernhard [Akademische:r Betreuer:in]; Wunderle, Bernhard [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Meyendorf, Norbert [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

Erschienen: Chemnitz: Universitätsbibliothek Chemnitz; Chemnitz: Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz, 2014

Umfang: Online-Ressource

Sprache: Deutsch

Identifikator:

Schlagwörter: System-in-Package > Dreidimensionale Integration > Bonden > Silicium > Eigenspannung > Spannungsanalyse > Zerstörungsfreie Werkstoffprüfung > Röntgenographie > Finite-Elemente-Methode > Zuverlässigkeit

Entstehung:

Hochschulschrift: Dissertation, Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, 2013

Anmerkungen:

Zugangsstatus: Freier Zugang

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