> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: E-Book Titel: Spektroskopische und mikroskopische Untersuchungen zur Bildung von Siliciumoxidschichten aus einem zweistufigen Plasmaverfahren Beteiligte: Wurlitzer, Lisa [Verfasser]; Maus-Friedrichs, Wolfgang [Akademischer Betreuer] Erschienen: Clausthal-Zellerfeld: TU Clausthal, 2021 Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch DOI: 10.21268/20210202-0 Identifikator: Schlagwörter: Plasma ; Beschichtung ; Oxidschicht ; Barrierenentladung ; Dünne Schicht Entstehung: Hochschulschrift: Dissertation, Clausthal-Zellerfeld, TU Clausthal, 2020 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang