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Medientyp: E-Book Titel: Charakterisierung nanoskaliger Gitter mittels Spektrometrie im Extrem-Ultraviolett Weitere Titel: Characterization of Nanoscale Gratings by Means of Spectrometry in the Extreme Ultraviolet Beteiligte: Bahrenberg, Lukas [Verfasser]; Loosen, Peter [Akademischer Betreuer]; Lemme, Max Christian [Akademischer Betreuer] Erschienen: Aachen: Universitätsbibliothek der RWTH Aachen, 2021 Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch DOI: 10.18154/RWTH-2021-03680 Identifikator: Schlagwörter: Extremes Ultraviolett ; Spektroskopie ; Röntgen-Kleinwinkelstreuung ; Stand von Wissenschaft und Technik ; Messung Entstehung: Hochschulschrift: Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2021 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang