> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: E-Book Titel: Modeling and Simulation Approaches for Material Challenges of Next-Generation Lithography Weitere Titel: Modellierungs- und Simulationsansätze für Materialherausforderungen der Lithographie der nächsten Generation Beteiligte: Belete, Zelalem Tamrate [Verfasser]; Erdmann, Andreas [Akademischer Betreuer]; Köstler, Harald [Gutachter] Erschienen: Erlangen: Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), 2022 Umfang: Online-Ressource Sprache: Englisch Identifikator: Schlagwörter: Lithography ; Modeling Entstehung: Hochschulschrift: Dissertation, Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), 2022 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang