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Medientyp: E-Book Titel: Entwicklung einer Prozesskette für den Aufbau individualisierter Foliensysteme Beteiligte: Janek, Florian [Verfasser]; Zimmermann, André [Akademischer Betreuer] Erschienen: Stuttgart: Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart, 2022 Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch DOI: 10.18419/opus-12617 Identifikator: Schlagwörter: Dünne Schicht ; Chip ; Prozesskette ; Silicium ; Wafer ; Montage ; Elektrische Leitfähigkeit Entstehung: Hochschulschrift: Dissertation, Stuttgart, Universität Stuttgart, 2022 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang