Koch, Fritz
[VerfasserIn]
;
Zengerle, Roland
[AkademischeR BetreuerIn];
Zengerle, Roland
[Sonstige Person, Familie und Körperschaft];
Finkenzeller, Günter
[Sonstige Person, Familie und Körperschaft]
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Institut für Mikrosystemtechnik,
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Fakultät für Angewandte Wissenschaften