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Medientyp: E-Book Titel: Additive manufacturing on chip Weitere Titel: Additive Fertigung auf Chipoberflächen Beteiligte: Schweiger, Severin Franziskus Georg [Verfasser:in]; Schenk, Harald [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Kupnik, Mario [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Erschienen: Cottbus: BTU Cottbus - Senftenberg, 2023 Umfang: Online-Ressource Sprache: Englisch DOI: 10.26127/BTUOpen-6455 Identifikator: Schlagwörter: Wafer ; Silicium ; Additive Fertigung ; Mikrofluidik ; MEMS ; Rapid Prototyping ; Microfluidics ; Microelectromechanical systems ; Additive manufacturing ; Two-photon polymerization ; Capacitive micromachined ultrasonic transducer ; Nanoscopic electrostatic drive ; Zwei-Photonen Lithographie ; Akustische Wellenleiter ; Mikronadeln Entstehung: Hochschulschrift: Dissertation, Cottbus, BTU Cottbus - Senftenberg, 2023 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang