> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: ECR-Plasmadiagnostik im System Ar-H2-N2-TMS und Charakterisierung der entstehenden SiCxNy: H-Schichten Beteiligte: Dani, Ines [Verfasser:in] Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: Schlagwörter: ECR-Beschichten > Plasmadiagnostik > Siliciumcarbid > Siliciumnitrid > Dünne Schicht > Online-Publikation Entstehung: Hochschulschrift: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2002 Anmerkungen: Dateiformat: PDF Zugangsstatus: Freier Zugang