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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Membran- und Struktur-Ätzprozesse für großflächige Projektionsmasken in der Nanolithografie Beteiligte: Letzkus, Florian [Verfasser] Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: Schlagwörter: Nanolithografie > Maske > Wafer > SOI-Technik > Selektives Ätzen > Prozessentwicklung Entstehung: Hochschulschrift: Stuttgart, Univ., Diss., 2003 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang