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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Atomistic effects in reactive direct current sputter deposition Beteiligte: Kappertz, Oliver [Verfasser] Umfang: Online-Ressource Sprache: Englisch Identifikator: Schlagwörter: Zinkoxid > Schichtwachstum > Magnetronsputtern > Online-Publikation Entstehung: Hochschulschrift: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2003 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang