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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Diagnostics and modeling of an inductively coupled radio frequency discharge in hydrogen Beteiligte: Kadetov, Victor A. [Verfasser] Umfang: Online-Ressource Sprache: Englisch Identifikator: Schlagwörter: Niederdruckplasma > Wasserstoff > ICP > Niedrigtemperatur > Plasmadiagnostik > Online-Publikation Entstehung: Hochschulschrift: Bochum, Univ., Diss., 2004 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang